液相技术

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滑动DIP法

滑动DIP法

喷雾方式

喷雾方式

印刷方式

印刷方式

狭缝挤压式涂布法(Die coater)

狭缝挤压式涂布法(Die coater)

定量分配方式

定量分配方式

依照需求,从提案~机器化到委托涂布加工为客户提供广范围的服务

RtoR式高精度全自动涂布机器人 / RX series

以滚轮状可达到连续的DIP涂布加工。承袭CMD的滑动Blot功能及机器人机能,并以最理想的电极形状,来实现高品质、高生产性的下一代全自动涂布机器人。

产品特长

■节省空间
・通过整列投入部 •涂布部•无载板的形式,可实现不降低生产能力并达到节省空间的效果
■无载板
・不需要装载芯片的载板、仅用胶布来运送芯片
■整列投入
・并不是用揺动倾斜的方式,而是采用避免损坏芯片的独创性整列方式
■涂布
・以同时运作DIP・铺涂料(Doctoring)・刮刀来提升工作效率
・涂布部的机械精准度在±5um以下,也可对应极小芯片的涂布
・透过获得专利的滑动Blot法可达到薄膜的均一化和安定的涂布形状

单片式高精度全自动涂布机器人 / BX series

采用单片涂布方式,实现了可控制均一性膜厚度的高精度涂布加工,并且在设计上节省了整列投入部、涂布部、干燥炉的空间

产品特长

■节省空间
・设计上实现了节省整列投入部、涂布部、干燥炉的空间
■载板
・对应尺寸18cm×28cm(7×11″)
■整列投入
・并不是用揺动倾斜的方式,而是采用避免损坏芯片的独创性整列方式
■涂布
・涂布部平行度±5μm
・10μm厚度的涂料上转渍(Blot)
・透过XY滑动转渍法,来控制膜厚度均一

单片式高精度半自动涂布机器人
HX series

透過載入器(整列壓入or加煤器)、卸載機(加煤器or乾燥爐)的任意組合,來建立最合適的生産線。

DIP式外部电极手动涂布机器人
CMD-B series

以滑动转渍(Blot)法来实现理想的电极涂布加工

模具式外部电极手动涂布机器人
CMM series

以采用模具的电极形成,来实现任何四角、边缘部位皆均一性的电极形成。

转写数组式外部电极手动涂布机器人
AX series

采用平面橡胶转写方式,可用于小型尺寸的芯片

带分配器类型的高精度涂层机器人
CMT series

CMT上装载的高精度定位系统。它可以精确地实现分配器的应用。通过与处理器一起使用,您可以在应用粘合剂的同时组装零件。

大气压喷镀机器人
CMS series

可用于薄膜/厚膜、常温常压下,各种广范围涂布的喷镀机器人

外部电极形成系统

以创业前积累的技术为核心,来驱动机构、软件开发,并把客户需求装置化。

整体流程的委托体制

・提供包罗涂布~检查的所有加工工程
・提供试作样品、也可进行多种类的少量生产
・公司内部开发、既有的生产线,以安定交期来提供高质量的商品

以大气压喷镀装置委托成膜加工

【成膜规格】
会依工作尺寸、形成层、图案规格来制作各种工具

【适应膜】
光刻胶膜、透明电极,脱模剂膜、反射防止膜、防指纹膜、防雾处理等

应用示例

除了介绍内容外,也可以依照客户的希望,来提供各种其他服务,请随时与我们联络。
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